Турбомолекулярные вакуумные насосы TURBOVAC классической серии на керамическом подшипнике с раздельным преобразоватем частоты
Параметр
50
50
151С
361С
361С
600C
1000C
1000C
1000C
Высоковакумный патрубок
40 ISO-KF
63 ISO-K
100 ISO-K
160 ISO-K
160 ISO-K
160 ISO-K
160 ISO-K
200 ISO-K
250 ISO-K
Форвакумный патрубок
16 ISO-KF
16 ISO-KF
25 ISO-KF
25 ISO-KF
25 ISO-KF
40 ISO-KF
40 ISO-KF
40 ISO-KF
40 ISO-KF
Скорость откачки по азоту, л/с
33
55
145
345
400
560
850
1100
1150
Газовая нагрузка по азоту, мбар·л/с
0,9
1,0
1,5
3,0
3,0
4,0
6,5
6,5
6,5
Предельное остаточное давление ISO-K/CF, мбар
8·10-8 / 5·10-10
Макс. форвакуумное давление, мбар
0,1
0,1
0,5
0,5
0,5
0,1
5·10-2
5·10-2
5·10-2
Масса, кг
2,0
2,0
8,0
17,0
17,0
17,0
25,0
25,0
25,0
Размеры, мм
93 х 93 х 166
93 х 93 х 157,5
132 х 132 х 207
196 х 196 х 254
196 х 196 х 254
225 х 225 х 317
258 х 258 х 338
258 х 258 х 351
258 х 258 х 310
О турбомолекулярных вакуумных насосах TURBOVAC на керамическом подшипнике от Leybold GmbH (Германия)
VIDEO
Принцип работы турбомолекулярного насоса Во внутреннем пространстве корпуса установлена турбина с лопатками. Вследствие того, что скорости лопаток ротора и молекул газа соизмеримы, образуется разница вероятностей движения газовых частиц (частицы проходят сквозь насос, но обратно не возвращаются). Процесс откачивания газа в рассматриваемом турбомолекулярном насосе зависит от потока газовых молекул, который движется от всасывающего фланца к форвакуумному порту.
Турбомолекулярные вакуумные насосы предназначены для получения условий высокого, и сверхвысокого вакуума в необходимом объеме. Насосы от Leybold GmbH серии TURBOVAC на керамическом подшипнике, отличаются простой и надежностью - данная концепция уже долгое время производится на заводе Leybold в Германии.
Классическая линейка TURBOVAC это турбомолекулярный насос с отдельным блоком электроники - то есть преобразователь частоты и блок питания находятся не на корпусе насоса (в насосе) - для некоторых применений это является необходимым условием надежной многолетней эксплуатации.
Турбомолекулярные насосы серии TURBOVAC classic это как насосы с только турбомолекулярной ступенью так насосы, и имеющие молекулярную (дожимающую) ступень (ступень Хольвега).
Компания Leybold GmbH (Oerlikon Leybold Vacuum GmbH) стала первым производителем, который предложил серийные образцы данной продукции. В настоящее время турбомолекулярный насос TURBOVAC MAG (равно как и TURBOVAC) успешно применяется в самых различных сферах (см. таблицу «Применения», находящуюся в разделе «Общие»).
Серия TURBOVAC Данная серия характеризуется наличием опорного подшипника ротора механического типа. При комбинировании таких насосных устройств с технически подходящими форвакуумными насосами обеспечивается бесперебойное функционирование в пределах 10-1 мбар - 10-10мбар.
Скоростные показатели откачивания по воздуху составляют порядка 35 л/с - 2400 л/с. Широкая популярность такого оборудования в подавляющем большинстве высоко- и сверхвысоковакуумных использований объясняется следующими преимуществами: компактностью конструкции, наличием практичного керамического подшипника, а также легкостью в эксплуатации.
Установка насосов TURBOVAC возможна в:
масс спектрометры;
газовые и жидкостные хроматографы;
области напыления, в которых осуществляется создание поверхностного слоя цифровых дисков;
установки, предназначенные для напыления оптических слоев с большой площадью;
установки для изготовления полупроводников (в тех процессах, где исключено участие вещества, способных вызвать коррозию).
Преимущества насосных устройств TURBOVAC: Каждый такой турбомолекулярный насос, цена которого является вполне доступной, имеет вместе с тем целый ряд других существенных плюсов:
средства откачивания без масла, позволяющие получать вакуум высокого и сверхвысокого характера;
возможность функционирования при различных ориентациях;
высокий уровень надежности;
легкость в использовании;
компактность дизайна.
Пн-Пт с 9:00 до 18:00