Турбомолекулярные вакуумные насосы марки TURBOVAC серии MAG
Параметр
W300P
W400P
W600P
W700P
W1500
W2200
W2800
W3200
Высоковакумный патрубок
100 ISO-K
160 ISO-K
160 ISO-K
200 ISO-K
250 ISO-K
250 ISO-K
250 ISO-K
320 ISO-K
Форвакумный патрубок
16 ISO-KF
16 ISO-KF
25 ISO-KF
25 ISO-KF
40 ISO-KF
40 ISO-KF
40 ISO-KF
40 ISO-KF
Скорость откачки по азоту, л/с
300
365
550
590
1220
2000
2650
3200
Предельное остаточное давление ISO-K/CF, мбар
1·10-8 / 1·10-10
Макс. форвакуумное давление, мбар
8,0
8,0
6,0
6,0
2,6
2,0
2,0
2,0
Масса, кг
12,0
12,0
17,0
17,0
32,0
28,0
64,0
65,0
Размеры, мм
155 х 155 х 250
180 х 180 х 250
204 х 204 х 281,5
240 х 204 х 280,5
285 х 285 х 307
317 х 317 х 371
307 х 307 х 391
425 х 425 х 316
TURBOVAC MAG турбомолекулярные вакуумные насосы на магнитном подшипнике от Leybold GmbH с раздельным блоком электроники
VIDEO
Вакуумные турбомолекулярные насосы на магнитном подшипнике производятся серийно компанией Leybold GmbH (Германия) с 1975. Проблема ранних турбомолекулярных насосов того времени ненадежность и возможность эксплуатации только в неагрессивных применениях. Именно в 80-е годы различными отраслями промышленности было поставлен ряд сложных задач:
бесмаслянный высокий вакуум;
высокий вакуум с одновременным присутствие агрессивных газов (коррозионно-активных, опасных для человека)
циклическая работа высоковакуумного насоса
Одним словом, появилось большое количество перспективным применений, в которых применение классических высоковакуумных турбомолекулярных насосов было невозможным. Благадаря такой вынужденной потребности и произошел скачек в выпуске серийных турбомолекулярных насосов на магнином подвесе TURBOVAC MAG.
Первые TURBOVAC MAG имели небольшую производительность - 300 - 360 л/с, и основным применением стала реализация процессов испарения газовай фазы на подложки (напыление - ECVD PECVD PVD) с примененим вредных коррозионно-активных веществ.
Турбомолекулярные вакууные насосы TURBOVAC MAG для агрессивных процессов Далее Leybold GmbH (Германия) начинает выпускать на рынок модели MAG 830 и 1300. Появляются также версии со специальным покрытием ротора и проточной части (для исключения реакции с откачиваемой средой) - версии C, а также модели со стабилизацией температуры внутри вакуумного насоса для исключения конденсации откачиваемых веществ - версии T.
Принцип работы действия турбомолекулярного насоса TURBOVAC Во внутреннем пространстве корпуса установлена турбина с лопатками. Вследствие того, что скорости лопаток ротора и молекул газа полностью соизмеримы, образуется разница вероятностей движения газовых частиц по направлению от одного насоса к другому (частицы проходят сквозь насос, но обратно не возвращаются). Процесс откачивания газа в рассматриваемом насосном устройстве находится в состоянии зависимости от прямого потока газовых молекул, который движется от всасывающего фланца к форвакуумному порту.
Серия TURBOVAC MAG C и CT Данная серия характеризуется наличием полноценного 5-ти осевого магнитного подшипника (но имееют опорный механический подшипник - для работы в аварийныхз ситуациях). все насосы серии MAG питаются от отдельного преобразователя частоты - это несомненно преимущество, т.к. срок службы электроники меньше срока службы насоса, также возможно разместить блок электроники на большом удалении от насоса - это нужно в применениях с особыми внешними условия вокруг насоса.
Серия TURBOVAC MAG Функционирование насосов данной серии, оснащенных подвесом ротора магнитного типа, в паре с технически совместимыми форвакуумными насосами позволяет эксплуатировать ТМН в диапазоне давлений 10-1 мбар - 10-10 мбар. Показатель скорости откачивания по воздуху составляет 300 л/с - 3200л/с. Насосное оборудование линейки TURBOVAC MAG широко используется для создания проводников (то есть в тех процессах, где требуется откачивание сред, способных вызвать коррозию), а также в электронно-лучевых микроскопах.
Преимущества насосных устройств TURBOVAC MAG:
абсолютно безмаслянное средство откачки вакуум;
монтаж в любой ориентации;
высокий срок службы основных узлов;
небольшая вибрация;
полностью адаптирован по откачку агрессивных сред;
отсутствие обслуживание подшипникового узла;
проверенная многолетные эксплуатацией концепция.
Пн-Пт с 9:00 до 18:00