Турбомолекулярные вакуумные насосы TURBOVAC серии i/iX (i, iX/T i, T iX) на гибридном подшипнике от Leybold GmbH (Германия)
Параметр
90 i/iX
250 i/iX
350 i/iX
450 i/iX
T350 i/iX
T450 i/iX
Высоковакумный патрубок
63 ISO-K
100 ISO-K
100 ISO-K
160 ISO-K
100 ISO-K
160 ISO-K
Форвакумный патрубок
16 ISO-KF
16 ISO-KF
25 ISO-KF
25 ISO-KF
25 ISO-KF
25 ISO-KF
Скорость откачки по азоту, л/с
90
225
290
430
290
430
Газовая нагрузка по азоту, мбар·л/с
10
6
4,5
4,5
11,5
11,5
Предельное остаточное давление ISO-K/CF, мбар
8·10-8 / 5·10-10
Макс. форвакуумное давление, мбар
14
14
10
10
0,5
0,5
Масса, кг
3,1/4,8
4,0/6,6
7,5/11,5
7,7/12,5
7,0/11,0
7,2/12,0
Размеры, мм
105 х 120 х 194
130 х 145 х 196
165 х 190 х 232
180 х 197,5 х 216
165 х 190 х 232
180 х 197,5 х 216
Серия I/iX представляет собой модульную линейку турбомолекулярных насосов, образующую единый модуль вместе с интегрируемой электроникой.
При разработке насосного оборудования TURBOVAC I/iX в первую очередь учитывалась необходимость в том, чтобы откачные характеристики соответствовали геометрическим размерам.
Наличие новой конструкции узла ротор/статор позволяет получать оптимальные показатели по быстроте откачки, степени сжатия (особо актуально для легких газов), газовой нагрузке и так далее. Варианты с дожимающей ступенью Хольвега тоже доступны.
Подшипниковый узел состоит из постоянного магнита, который отвечает за восприятие радиальной нагрузки и опорный керамический подшипник для восприятия осевой нагрузки. Керамический подшипник находится на стороне форвакуума, смазка закладывается на весь срок службы подшипника и меняется вновь закладывается при замене подшипника. Благодаря новой концепции подшипникового узла замену механического подшипника можно производить без использования специального балансировочного оборудования, то есть при использовании простого инструмента.
VIDEO
В турбомолекулярных насосах TURBOVAC i от Leybold GmbH, имеющих стандартную комплектацию, есть возможность подключать газ для вентилирования, а также есть порт для подключения газа напуска в насос через клапан или дроссель.
Для насоса TURBOVAC i доступны различные варианты электроники
Все рассматриваемые насосные устройства оснащены интегрированным блоком электроники 24/48 В, функциональная нагрузка которого состоит в полном контроле за работой (включая подачу питания, а также частоту оборотов насоса). Возможность установить мультиинтерфейсный модуль тоже имеется.
Насосные устройства серии I/iX отличаются особой гибкостью в плане мониторинга и контроля. Подобные широкие возможности объясняются солидным выбором исполнений как самого насоса, так и других составляющих: электроники, корпуса, аксессуаров.
В отличии от версии i насосы серии iX оснащаются контроллером вакуумной системы встроенного типа, который способен управлять не только датчиком вакуума, но и также вентилятором, клапаном и форвакуумным насосом. Наличие модулей разных интерфейсов существенно упрощает процесс монтажа (интеграции) насоса в состав общей системы и облегчает его ввод в эксплуатацию.
Выбор конструкции вакуумного модуля насоса (статора, ротора, ступени Хольвега) зависит от индивидуальных требований отдельно взятого процесса: необходимой быстроты откачки легких (либо тяжелых) газов, наличествующей газовой нагрузки, актуальной степени сжатия, присутствия мультикамерных систем.
Широкий выбор корпусов, а также вариантов размещения блоков электроники гарантируют удобность установки. Наличие дополнительных аксессуаров для линейки I/iX существенно расширяет перечень сфер применения.
Эксплуатационные преимущества:
высота параметров откачки, обеспечиваемая инновационной концепцией;
оптимальное соотношение стоимости и быстроты откачки;
высота наработки на отказ (действует концепция необслуживаемого подшипникового узла);
наличие модульной концепции, обеспечивающей максимальную адаптивность к различным сферам использования;
широкий выбор исполнений фланцев и корпуса;
простота установки в любом положении;
наличие разных модулей интерфейса, позволяющее максимально упростить интеграцию устройства в процесс;
широкий выбор опций (вентиляции, источника питания, нагревателей, охлаждения и ряда других).
Варианты электроники, свойственные для насоса TURBOVAC i
Данная стандартная версия является выгодным решением, которое оснащено всеми базовыми функциями, а также управляющим интерфейсом.
напряжение питания у преобразователя частоты способно составлять 24/48 В DC;
в комплектацию могут входить лампочки состояния LED;
есть опциональная возможность подключать до двух компонентов;
широта выбора управляющих интерфейсов (цифровой 15-пинов, RS 485, USB);
Особенности версии TURBOVAC i (с мультиинтерфейсный модулем)
функциональные возможности как у версии «i плюс»;
интерфейс RS 485 может быть в зависимости от потребностей заменен на: RS 232, Profibus, либо Ethernet/IP.
Особенности версии TURBOVAC iX (с мульти интерфейсным модулем и контролем состояния вакуумной системы)
функциональные возможности как у версии «i плюс»;
наличие трех выходов с целью контролирования дополнительных устройств.
есть одно подключение вакуумного датчика для записи параметров и питания;
гибкость конфигурации выходов контроллера;
Конструкционные варианты насоса
Версия i,iX
Вариант категории «стандарт» для тех сфер, где необходима компактность устройства. Присутствие ступени Хольвега дает высоту степеней сжатия, а также требуемую быстроту откачки (главным образом, для легких газов). Вследствие высокой компрессии становится возможной бесперебойная работа как со спиральным, так и с диафрагменным насосом.
Версия T i, T iX
Классический ротор, лишенный дополнительной дожимающей ступени, позволяет использовать оборудование версии T в процессах с особыми требованиями, а также при высоких нагрузках газа. По сравнению со стандартным вариантом версия T дает большую скорость откачки, подходит для существенно возросшей нагрузки газа, а также демонстрирует малую чувствительность к присутствию твердых частиц либо пыли внутри откачиваемой среды.
Версия i с несколькими входами
Ротор специальной конструкции, а также наличие двух и более входов, дает в итоге компактное и вместе с тем эффективное решение, подходящее для мультикамерных систем. Версия I – это высота уровня интеграции (по сравнению с единовременным использованием нескольких насосов), а также минимальный вес и габариты. Новый узел ротор/статор служит дополнительной гарантией надежности.
Преимущества эксплуатации турбомолекулярных вакуумных насосов TURBOVAC i
Версия i
высокое качество исполнения и широкий функционал по доступной цене;
гибкость и простота на всех этапах (интеграции, эксплуатации и сопутствующего контроля);
максимальность выработки и периода эксплуатации при минимальных затратах текущего характера;
быстрота откачки и меньшее конечное давление;
превосходные показатели во время откачки легких газов;
наличие возможности использовать меньший форвакуумный насос.
Версия iX
простота системы для подключения контроллера;
нет затрат на кабели, а также на контроллер для вакуумной системы.
Версия T i, T iX
совместимость с процессами, отличающимися особыми требованиями, а также наличием высоких нагрузок газа;
уменьшенный хронометраж цикла, а также выхода насосного устройства на режим.
Пн-Пт с 9:00 до 18:00