Металлокерамические фильтры (МКФ) не разборные, предназначе- ны для сверхтонкого фильтрования воздуха, азота, водорода, кислорода, аргона, гелия и других газов, химически инертных к материалам корпуса и фильтрующего элемента.
Для фильтрации газов, применяемых при изготовлении интеграль- ных схем,кроме фосфина (РН3), окиси углерода (СО) и озона (О3).
Класс фильтрования U 16.
Рекомендованы к использованию в производстве интегральных схем дляабсолютного удаления из газов частиц размером не менее 0,01 мкм.
|
Наименование фильтра
|
Рекомендуемый расход
|
Эффективност очистки
|
|
МКФ-10
|
до 3 нм3/ч (50 нл/мин)
|
Не менее 99,99999 % для частиц размером не менее 0,01 мкм
|
|
МКФ-40
|
от до 3 нм3/ч (50 нл/мин) до 9 нм3/ч (150 нл/мин)
|
|
МКФ-140
|
от до 9 нм3/ч (150 нл/мин) до 20 нм3/ч (330 нл/мин)
|
|
МКФ-280
|
от до 20 нм3/ч (330 нл/мин) до 40 нм3/ч (660 нл/мин)
|
Обработка внутренних поверхностей корпуса:
Электрохимическое полирование.
Подготовка к работе:
Подготовка к работе и испытаниям в чистых помеще- ниях класса 100.
Упаковка:
Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом аргоном или азотом.
Условия эксплуатации:
Температура окружающей среды от +5 до +35 0С. Пространственная ориентация - произвольная.
Рекомендуемая периодичность замены:
Два года при предварительном фильтровании газа от частиц размером более 2 мкм.
| Фильтр МКФ-10
|
Фильтр МКФ-40
|
Фильтр МКФ-140
|
Фильтр МКФ-280
|
|
|
|
|
Пн-Пт с 9:00 до 18:00