Назначение фильтра
ФИЛЬТР МКФ-40
1 НАЗНАЧЕНИЕ
Фильтр МКФ-40 предназначен для тонкой очистки воздуха и любых газов, химически инертных к материалу корпуса и фильтрующего элемента фильтра, от аэрозольных частиц.
Условные обозначения:
МКФ - металлокерамический фильтр;
40 - площадь поверхности фильтрующего элемента, см2 .
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ
Эффективность фильтра при очистке газа от частиц размером ≥ 0,01 мкм и расходе 8,4·10-2 м3 /ч (1,4 л/мин) не менее 99,99999 %.
Перепад давлений на фильтре при расходе газа (1,0±0,1) м3 /ч не более 0,02МПа (0,20 кгс/см2 ). Зависимость расхода газа Q, м3 /ч от перепада давлений на фильтре D P, кгс/см2 и абсолютного давления на входе фильтра Рвх , кгс/см2 , определяется по формуле Q=[3,63+6,62х(Рвх -D Р/2]хD Р
Локальная негерметичность при избыточном внутреннем давлении гелия ТУ51-940-80 (1.00±0.05) МПа [(10,0±0,5) кгс/см2 ] и температуре (25±10) С, не более 1× 10-3 л× мкм рт.ст./c
Примечание. Расход газа указан при давлении 101,3 кПа (760 мм рт. ст.) и температуре 293,15 °К (20 °С).
Применяемые материалы:
- фильтрующий элемент -никель;
- корпус, штуцеры -нержавеющая сталь;
- транспортные заглушки -фторопласт;
- прокладки -никель.
5
3 КОМПЛЕКТОСТЬ
Фильтр
- 1 шт.
Транспортная заглушка
- 2 шт.
Паспорт
- 1 шт.
Упаковка
- 1 шт.
4 Габаритные и присоединительные размеры фильтра
5. УКАЗАНИЯ ПО ЭКСПЛУАТАЦИИ
5.1 Фильтр поставляется с предохранительными заглушками и герметично упакован в два полиэтиленовых пакета (чехла), заполненных очищенным воздухом, аргоном, или азотом. Вскрывать пакеты и удалять предохранительные заглушки допускается только в зоне эксплуатации непосредственно перед установкой фильтра в газовую линию.
5.2 При получении фильтра необходимо проверить комплектность и убедиться в отсутствии повреждений фильтрующего элемента (определяются встряхиванием фильтра) и видимых механических повреждений корпуса, упаковки фильтра и прокладок.
5.3 Условия эксплуатации фильтра:
- температура окружающего воздуха, °С от 15 до 35;
- относительная влажность, %, не более 80;
- атмосферное давление, кПа (мм. рт. ст.) от 84 до 107 (от 630 до 800);
- пространственная ориентация произвольная.
5.4 Перед установкой в газовую линию необходимо убедиться в возможности использования фильтра для очистки выбранного газа. Использование одного фильтра для очистки различных газов не допускается.
5.5 Тип и размеры штуцеров фильтра должны соответствовать применяемым в газовой линии.
5.6 Для предотвращения повреждений фильтрующего элемента и уплотняющих поверхностей штуцеров все работы с фильтром должны проводиться с осторожностью.
5.7 Порядок введения фильтра в эксплуатацию
5.7.1 Перекрыть подачу газа со стороны входа в заменяемый фильтр.
5.7.2 Сбросить давление внутри фильтра.
5.7.3 Отсоединить заменяемый фильтр.
Примечание. Повторное применение прокладок не допускается.
5.7.4 Убедиться в отсутствии повреждений или сильного износа уплотняющих поверхностей подсоединительной арматуры. При необходимости заменить поврежденные или изношенные детали.
5.7.5 Вскрыть полиэтиленовые пакеты, достать фильтр и прокладки.
5.7.6 Снять предохранительные заглушки со штуцеров фильтра. Небольшое количество очищенного газа при этом может выйти наружу.
5.7.7 Немедленно установить фильтр в газовую линию.
Стрелка на корпусе фильтра должна соответствовать направлению движения газового потока.
5.7.8 Проверить герметичность соединений в соответствии с методами, принятыми на предприятии.
5.7.9 Продуть линию в рабочем режиме в течение не менее 30 мин.
5.7.10 Зафиксировать дату установки фильтра.
6 ГАРАНТИИ ИЗГОТОВИТЕЛЯ
6.1 Гарантийный срок эксплуатации (время эксплуатации фильтра в газовой линии) - 2 года со дня первой установки фильтра в линию.
6.2 Гарантийная наработка (суммарное время работы фильтра в течение гарантийного срока эксплуатации) при расходе газа (1,0±0,1) м3 /ч и при концентрации на входе не более 106× м-3 частиц размером не менее 0,01 мкм - 8500 часов.
6.3 Гарантийный срок хранения (время хранения фильтра в упаковке предприятия-изготовителя) - 10 лет со дня приемки фильтра ОТК.
Примечание. Расход и объем газа указаны при давлении 101,3 кПа (760 мм рт. ст) и температуре 293,15 °К (20 °С).
7 КОМПЛЕКТ ПОДСОЕДИНИТЕЛЬНОЙ АРМАТУРЫ ДЛЯ УСТАНОВКИ ФИЛЬТРА В ГАЗОВУЮ ЛИНИЮ (КОМПЛЕКТ ПРИНАДЛЕЖНОСТЕЙ)
7.1 Состав комплекта:
Ниппель
- 2 шт.
Гайка
- 2 шт.
Прокладка
- 10 шт.
7.2 Присоединительные размеры ниппеля:
Обозначение
Подсоединительные размеры ниппеля
УФАИ.067715.001
Труба 8х1, Dвнутр. = 6,00 мм
УФАИ.067715.002
Труба 1/4 ", Dвнутр. = 4,56 мм
УФАИ.067715.004
Труба 12х1, Dвнутр. = 10 мм
УФАИ.067715.005
Труба 3/8", Dвнутр. = 7,73 мм
УФАИ.067715.006
Труба 1/2", Dвнутр. = 10,20 мм
Неразборный фильтр предназначен для очистки технологических газов от высокодисперсных аэрозольных частиц, в том числе газов, применяемых в микроэлектронной промышленности.
Параметры фильтруемого газа
Давление на входе фильтра, атм (psi) - не более 10 (143);
температура, °С - от 5 до 50.
Рекомендуемый расход
От 3 нм3 /ч (50 нл/мин) до 9 нм3 /ч (150 нл/мин).
Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях
6 атм (86 psi).
Степень очистки фильтра
Не менее 99,9999999 % для частиц размером более 0,01 мкм.
Чистота газа после фильтра
Концентрация частиц размером более 0,01 мкм - менее 0,03 частиц/литр;
концентрация молекулярных примесей(воды, кислорода и других) - менее 10 ppb.
Локальная негерметичность корпуса МКФ-40
Не более 1· 10-3 л·Ч мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (10±0,5) атм [(143±7.1) psi] и температуре
Применяемые материал
Фильтрующий элемент - никель.
Корпус - нержавеющая сталь, в том числе марки 316L по требованию заказчика.
Обработка внутренних поверхностей корпуса
Электрохимическое полирование.
Чистота обработки 0,63 Ra (корпуса из стали марки 316L - 0,13 Ra).
Площадь фильтрующей поверхности 40 см2 .
Подготовка к работе фильтра МКФ-40
Сборка, подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100.
Упаковка
Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом.
Условия эксплуатации
Температура окружающего воздуха - от 5 до 40 ° С;
относительная влажность - не более 90 %;
пространственная ориентация - произвольная.
Надежность
Рекомендуемая периодичность замены или регенерации - 2 года.
Примечание. Расход газа указан при давлении 101,3 кПа и температуре 293,15 °К.
Пн-Пт с 9:00 до 18:00