Назначение
Фильтр МКФ-140 предназначен для очистки технологических газов от высокодисперсных аэрозольных частиц, в том числе газов, применяемых в микроэлектронной промышленности.
Параметры фильтруемого газа
Давление на входе фильтра, атм (psi) - не более 10 (143);
температура, °С - от 5 до 50.
Рекомендуемый расход
От 9 нм3/ч (150 нл/мин) до 20 нм3/ч (330 нл/мин).
Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях: 6 атм (86 psi).
Степень очистки
Не менее 99,9999999 % для частиц размером более 0,01 мкм.
Чистота газа после фильтра
Концентрация частиц размером более 0,01 мкм - менее 0,03 частиц/литр;
Концентрация молекулярных примесей (воды, кислорода и других) - менее 10 ppb.
Локальная не герметичность корпуса
Не более 1·10-3 л·Ч мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (10± 0.5) атм [(143± 7.1) psi] и температуре
(25±10) °С.
Применяемые материалы
Фильтрующий элемент - никель.
Корпус - нержавеющая сталь, в том числе марки 316L по требованию заказчика.
Обработка внутренних поверхностей корпуса
Электрохимическое полирование.
Чистота обработки 0,63 Ra (корпуса из стали марки 316L - 0,13 Ra).
Площадь фильтрующей поверхности
140 см2.
Подготовка к работе
Сборка, подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100.
Упаковка
Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом.
Условия эксплуатации
Температура окружающего воздуха - от 5 до 40 °С;
относительная влажность - не более 90 %;
пространственная ориентация - произвольная.
Надежность
Рекомендуемая периодичность замены или регенерации - 2 года.
Примечание. Расход газа фильтра МКФ-140 указан при давлении 101,3 кПа и температуре 293,15 ° К
Пн-Пт с 9:00 до 18:00