Назначение
Фильтр МКФ-10 предназначен для сверхтонкой очистки технологических газов от от мелкодисперсных аэрозолей и частиц в микроэлектронной промышленности.
 | Параметры фильтруемого газа: Давление на входе фильтра, атм. (psi) - не более 10 (143), Температура, °С - от 5 до 50. Рекомендуемый расход газа: до 3 нм3/ч (50 нл/мин). Максимальный перепад давлений в прямом и обратном направлениях: 6 атм. (86 psi). Эффективность очистки газа от механических частиц: не менее 99,99999 % для частиц размером более 0,01 мкм. Чистота газа после фильтра: Концентрация частиц размером более 0,01 мкм - менее 0,03 частиц/литр. Концентрация молекулярных примесей (воды, кислорода и других) - менее 10 ppb. Локальная негерметичность корпуса: не более 1·10-3 л·Ч мкм рт. ст./с при внутреннем давлении гелия (10±0,5) атм. [(143±7,1) psi] и температуре
(25±10) °С. Обработка внутренних поверхностей корпуса Электрохимическое полирование. Чистота обработки 0,63 Ra (корпуса из стали марки 316L - 0,13 Ra). |
Площадь фильтрующей поверхности
10 см2
Подготовка к работе
Сборка, подготовка к работе и испытания в чистых помещениях класса 100.
Упаковка
Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом или азотом.
Условия эксплуатации фильтра:
Температура окружающего воздуха - от 5 до 40 °С.
Относительная влажность - не более 90 %.
Пространственная ориентация - произвольная.
Надежность
Рекомендуемая периодичность замены или регенерации фильтра МКФ-10 - 2 года.
Примечание. Расход газа указан при давлении 101,3 кПа и температуре 293,15 °К.
Пн-Пт с 9:00 до 18:00