Диффузионные высоковакуумные насосы DIP, OB от Leybold GmbH (Германия)
| Параметр
|
3 000
|
8 000
|
12 000
|
20 000
|
30 000
|
50 000
|
|
Высоковакумный патрубок
|
250 ISO-K
|
400 ISO-K
|
500 ISO-K
|
630 ISO-K
|
800 ISO-K
|
1000 ISO-K
|
|
Форвакумный патрубок
|
63 ISO-K
|
63 ISO-K
|
100 ISO-K
|
100 ISO-K
|
160 ISO-K
|
160 ISO-K
|
|
Скорость откачки по воздуху при 10-4мбар, л/с
|
3000
|
8000
|
12000
|
20000
|
30000
|
50000
|
|
Диапазон рабочих давлений, мбар
|
10-2 - 10-7
|
|
Предельное остаточное давление с LVO 500, мбар
|
5·10-7
|
|
Предельное остаточное давление с LVO 500, мбар
|
6·10-2
|
|
Масса, кг
|
29
|
70
|
102
|
172
|
296
|
560
|
|
Размеры, мм
Д х Ш х В
|
385 х 443 х 560
|
615 х 643 х 785
|
775 х 775 х 940
|
980 х 980 х 1130
|
1150 х 1150 х 1450
|
1350 х 1350 х 1880
|
Принцип работы (действия) диффузионного вакуумного насоса
В высоковакуумном пароструйном насосе заливаемая в него специальная рабочая жидкость (масло) путем нагрева преобразуется в пар, который проходит сквозь систему сопел. Последние спроектированы так, чтобы выходящий паровой поток приобретал сверхзвуковую скорость (так называемые сопла Лаваля). Под определенным углом пар устремляется на стенки насоса, которые охлаждаются с внешней стороны с помощью спиральной трубки. В результате струя пара превращается в конденсат на стенках и стекает в нижнюю часть насоса, где цикл повторяется. Наблюдается улавливание молекул газа потоком рабочей жидкости, то есть возникает меньшая вероятность хода молекул из насоса по сравнению с ходом молекул к насосу. Для реализации данной модели откачки необходимо созданые внутри насоса молекулярного режима течения - при давлениях выше максимально допустимых (параметр зависит от системы сопел) вакуумный диффузионный насос будет просто источником маслянного тумана и не будет иметь внутри себя систему сопел.
Диффузионный паромасляный вакуумный насос - это откачкное устройство, производительность которого зависит от способности паровой струи диффундировать в себя газ. Для дожатия откачиваемого газа до атмосферного давления нобходимо применять форвакуумный насос.
Масляные диффузионные высоковакуумные вакуумные насосы DIP от Leybold GmbH - особенности
Сравнительно низкая плотность пара (как в струе, так и в нагревателе) позволяет молекулам газа практически целиком проникать (диффундировать) в паровую струю. Так осуществляется откачка молекул. По обозначенным выше причинам скорость откачки у рассматриваемого насосного агрегата (в интервале давлений всасывания 10-3мбар и менее, при котором давление не оказывает влияния на струю пара) стабильно высока.
Особенности эксплуатации маслянх диффузионных вакуумных насосов
Форвакуумная линия для паромаслянного насоса
При любых применениях данное насосное устройство нуждается в подходящем насосе предварительного разряжения (смотрите Технические сведения). Выбор типа и размера форвакуумного агрегата происходит с учетом эксплуатационных условий и газовой нагрузки.
Режимы продолжительной работы диффузионного насоса:
- для давлений свыше 10-4 мбар - режим больших газовые нагрузок;
- для давлений менее 10-4 мбар - режим малых газовые нагрузок.
Во время установки устройства необходимо предусмотреть линию байпасной откачки для вакуумной камеры при помощи насоса с целью обеспечения предварительного разряжения. Такое решение дает возможность создать в камере требуемый вакуум для того, чтобы диффузионный вакуумный насос смог функционировать в нормальном режиме.
Приоткрытом высоковакуумном клапане (4) диффузионный может находиться в том же положении. Перед вентилированием вакуумной камеры высоковакуумный (4) и формакуумный (2) клапаны необходимо закрыть. Таким образом обеспечивается готовность (прогретость) насосного аппарата.
Быстрота откачки диффузионного насоса
Под скоростью откачки принято понимать объем газа, который проходит через всасывающий патрубок насоса. Для диффузионных насосов DIP данный показатель по легким газам выше, чем по тяжелым.
Различные серии диффузионных (паромаслянных) вакуумных насосов от Leybold GmbH (Германия)
Серия DIP - серия для получения минимальных давлений и стабильно высоких производительностей при давлениях ниже 2·10-4мбар
Преимущества серии DIP (относительно OB и DIJ)
- Высокая производительность в диапазоне 10-2 - 10-7мбар;
- Широкая линейка вакуумных насосов 3000, 8000, 12000, 20000, 30000, 50000 л/с;
- низкие показатели предельного остаточного давления.
- самое экономичное решение для получения высокого вакуума
Недостатки серии DIP (относительно OB и DIJ)
- требуется высокое давление для запуска - ниже 6·10-2;
- быстрое ухудшение работы при работе в нерасчетных режимах
Сферы применения диффузионных насосов типа DIP от Leybold GmbH (Германия)
- для промышленных напылительных процессов;
- для больших высоковакуумных систем для исследований;
- для печей термообработки;
- для систем металлообработки;
- для реализации сварочных процессов.
Пн-Пт с 9:00 до 18:00